Механизм крионасоса
Крионасос — это вакуумный насос накопительного типа. Насос конденсирует и адсорбирует газы на криогенной поверхности, установленной в насосе, чтобы создать условия от высокого до сверхвысокого вакуума. Кроме того, вакуумным насосом можно получить чистый вакуум, не загрязненный маслом и имеющий более высокую скорость откачки, чем другие вакуумные насосы, привлекающие внимание.Такие насосы отличаются чистым вакуумом и высокой скоростью откачки.
Так продажей таких крионасосов занимается компания VACYM.COM, посмотреть весь ассортимент можно у них на сайте.
Технология крионасоса используется для следующих приложений:
Электронные компоненты, такие как полупроводники, жидкие кристаллы и диски, линзы для очков и очень большая космическая вакуумная камера и другое.
Особенности крионасоса.
Можно ли получить чистый насос при очень низкой температуре?
Крионасос — это насос, который конденсирует и адсорбирует молекулы газа на криогенной поверхности, так что все молекулы газа могут храниться в насосе.
У этого насоса нет ничего, что работало бы в вакуумной камере. Поскольку этот насос не использует масло, он создает чистый вакуум. Несмотря на то, что этот насос является адсорбционным, скорость его откачки высока. Это основные характеристики этого насоса.
Сильные стороны: этот насос может откачивать все газы и получать сверхвысокий вакуум.
Слабые стороны: поскольку этот насос является накопительным, он должен периодически отводить газ и регенерировать.
Более высокий вакуум с двухступенчатой фазой.
Холодный этап — двухступенчатый. Холодопроизводительность первой ступени велика, она может охладиться до 80 Кельвина (К) ( -193,15 0 С) или меньше. Первая ступень выбрасывает в основном влагу, а вторая ступень выпускает молекулы, такие как N2, O2, Ar и H2, путем дальнейшего охлаждения для получения более высокого вакуума.
Причина в сверхнизкой температуре.
Молекулы газа конденсируются и адсорбируются при контакте с охлаждаемой поверхностью, близкой к 0K = абсолютному нулю (-273,15 ° C).
Что такое крионасос?
Крионасос — это вакуумный насос, который улавливает газы и пары, конденсируя их на холодной поверхности. Для эффективного вакуумирования в сверхвысоком вакууме давление пара для конденсации или равновесное давление для адсорбции должно быть менее 10 -8 Па.
Если криоохлаждаемая поверхность, такая как криоповерхность и криопанель, охлаждается ниже 20K (-253,15 0 С), давление пара газа становится ниже 10-8.Па при условии, что давление пара ниже, чем у азота. Легчайшие газы, такие как водород, гелий и неон, не конденсируются при 20K (-253,15 0 С), поэтому вместо того, чтобы полагаться только на конденсацию, для их адсорбции используется адсорбент из специальных пористых материалов. При охлаждении адсорбента ниже 20K (-253,15 0 С), эти газы эффективно адсорбируются, и, таким образом, крионасос может достигать сверхвысокого вакуума.
Существует два способа «криоохлаждения» поверхности крионасоса. Один из них — это использование охлаждающей жидкости, такой как жидкий азот (LN2, 77K) или жидкий гелий (LHe, 4,2K), а другой — небольшой гелиевый холодильник замкнутого цикла.
Компактный гелиевый холодильник замкнутого цикла может стабильно работать в течение длительного периода без доливки охлаждающей жидкости. Кроме того, он может создавать чистый и сверхвысокий вакуум с простой и понятной работой.
Клапан регенерации и сброса давления
Крионасосы не работают непрерывно во всех насосах, таких как масляные диффузионные насосы и турбомолекулярные насосы. Поскольку крионасос удерживает газы внутри криопанелей 15K(-258,15 0 С) за счет конденсации и адсорбции, его необходимо регулярно дегазировать и регенерировать. Во время этого процесса регенерации крионасос нагревается, и конденсированные или адсорбированные газы снова превращаются в газ. При перекачивании большого количества газов существует опасность взрыва. Для предотвращения опасности взрыва все крионасосы оснащены предохранительным клапаном. Рабочее давление предохранительного клапана установлено на 20 кПа (манометрическое).
В целях безопасности НЕ БЛОКИРУЙТЕ предохранительный клапан и НЕ МОДИФИРУЙТЕ его для других целей.
Также никогда не используйте его в качестве продувочного клапана в процессе регенерации, потому что отходы продувочного газа могут прилипнуть к листу предохранительного клапана и вызвать утечку.